靶材自动探伤,超声C扫描检测

靶材由溅射材料和靶托通过钎焊层连接。钎焊质量影响靶材界面层导热性能, 甚至导致脱焊或融化。靶材的突然脱落会造成设备的严重损坏, 导致重大经济损失。因此, 靶材钎焊层必须具备良好的导电性和导热性, 同时还必须具备足够的强度。
硕德检测提供的靶材专用检测设备，适用于靶材粘接检测和内部缺陷检测，可用于金属靶和陶瓷靶、平靶和管状靶。超声探伤原理是利用超声波经水耦合进入靶材板后，入射传播，当板中有缺陷会引起超声反射，若无缺陷，超声波到达靶材下表面后由于与粘接材料（或空气夹层）的声阻抗不匹配而导致回波幅度不同，超声仪器将超声反射信号经放大信号处理后实时报警，实现粘接和缺陷的自动检测。
考虑到靶材粘接检测的特殊性以及靶材材料本身的声特性，系统采用聚焦超声纵波脉冲反射液浸法C扫描技术进行检测，实现对粘接率的计算和内部缺陷的探伤。对于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷可进行有效的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。
适用靶材的种类
1. 金属靶材 　　镍靶、Ni、钛靶、Ti、锌靶、Zn、铬靶、Cr、镁靶、Mg、铌靶、Nb、锡靶、Sn、铝靶、Al、铟靶、In、铁靶、Fe、锆铝靶、ZrAl、钛铝靶、TiAl、锆靶、Zr、铝硅靶、AlSi、硅靶、Si、铜靶Cu、钽靶T、a、锗靶、Ge、银靶、Ag、钴靶、Co、金靶、Au、钆靶、Gd、镧靶、La、钇靶、Y、铈靶、Ce、钨靶、w、不锈钢靶、镍铬靶、NiCr、铪靶、Hf、钼靶、Mo、铁镍靶、FeNi、钨靶等。 　　
2. 陶瓷靶材 　　ITO靶、氧化镁靶、氧化铁靶、氮化硅靶、碳化硅靶、氮化钛靶、氧化铬靶、氧化锌靶、硫化锌靶、二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化铈靶、二氧化锆靶、五氧化二铌靶、二氧化钛靶、二氧化锆靶，、二氧化铪靶，二硼化钛靶，二硼化锆靶，三氧化钨靶，三氧化二铝靶五氧化二钽，五氧化二铌靶、氟化镁靶、氟化钇靶、硒化锌靶、氮化铝靶，氮化硅靶，氮化硼靶，氮化钛靶，碳化硅靶，铌酸锂靶、钛酸镨靶、钛酸钡靶、钛酸镧靶、氧化镍靶、溅射靶材等。 　　
3.合金靶材 　　铁钴靶FeCo、铝硅靶AlSi、钛硅靶TiSi、铬硅靶CrSi、锌铝靶ZnAl、钛锌靶材TiZn、钛铝靶TiAl、钛锆靶TiZr、钛硅靶TiSi、 钛镍靶TiNi、镍铬靶NiCr、镍铝靶NiAl、镍钒靶NiV、镍铁靶NiFe等……
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